芯源微：专注光刻涂胶显影技术，推进国际化发展道路

光刻机是制造芯片的核心装备，在半导体行业中占据重要地位。近年来，全球光刻机需求量持续上升，带动了包括光刻工序涂胶显影设备在内的光刻机配套设备需求量的拉升。沈阳芯源微电子设备股份有限公司（股票简称：芯源微，股票代码：688037）作为我国唯一一家能够提供中高端涂胶显影设备的企业，光刻机市场需求的旺盛引起的光刻机配套设备市场需求的增大，推动了公司快速发展。

涂胶显影设备产品市场广阔

近年来，随着消费电子、新能源汽车等下游市场需求的持续增长以及物联网、云计算等新兴领域的出现和快速发展，扩大了半导体设备行业的市场空间。根据SEMI预测报告，2020年半导体设备的全球销售额达到了689亿美元，同比增长16%，达到了历史新高。到2021年-2022年，全球半导体设备销售额也将有望分别达到719亿美元和761亿美元，保持持续增长的趋势。

目前，市场上供应的半导体设备主要是晶圆加工设备，占到了80%的市场份额。在这些晶圆加工设备中，以光刻机、刻蚀机和薄膜沉积设备为主要销售的半导体设备，分别约占市面上半导体设备的24%、20%和20%。

由于半导体设备行业具有较高的技术壁垒、市场壁垒和客户认知壁垒，光刻机主要由荷兰的ASML占据领头羊的位置，而光刻涂胶显影设备市场主要是被日本东京电子（TEL）所垄断。

我国半导体设备行业由于发展起步晚，现仍处于加紧追赶阶段。在我国半导体设备行业发展的初步阶段，光刻机及光刻机配套设备主要靠进口为主。芯源微是我国一家专业从事半导体专用设备的研发、生产和销售业务的企业，公司的涂胶显影设备产品成功打破了国外厂商垄断并成功填补了国内空白，实现了小批量替代，加快了我国国产替代化进程。

芯源微生产的涂胶显影设备通过在客户端的验证与改进，现已实现在多个技术方面的突破并应用于新产品中。公司生产的涂胶显影设备包括前道和后道在内已经可以应用到封装领域、LED领域、MEMS、化合物、功率器件、特种工艺等领域。

此外，公司还获得上海华力、中芯绍兴、厦门士兰集科、台积电、长电科技、华天科技、通富微电、晶方科技、华灿光电等多个大客户订单，订单量充足，业绩保持持续增长。截止2020年底，芯源微实现营业收入3.28亿元，同比增长54.30%。

专注研发实现技术突破

我们知道，半导体是技术密集型行业，具有较高的技术门槛。随着半导体技术水平的提升，芯片的体积不断缩小，半导体器件的结构逐步复杂，对半导体设备精度和稳定性要求更高。

芯源微自成立以来就十分重视核心技术的自主研发，拥有了一系列具有自主知识产权的核心技术。公司也因此先后荣获“国家级知识产权优势企业”、“2018年中国半导体设备五强企业”、“国内先进封装领域最佳设备供应商”、“全国第一批专精特新‘小巨人’”等多项殊荣，公司产品也先后获得“国家战略性创新产品”、“国家重点新产品”“ 辽宁省科学技术进步一等奖”等多项荣誉。

不仅如此，针对新技术、新产品和新工艺的研发工作，芯源微也在一直不断加大培养科技研发人才力度和研发投入。芯源微现已建立起较为完善的人才培养体系，并且通过承担国家重大专项及地方重大科研任务、开展专题技术培训等方式来培养不同专业领域的学科人才，从而形成稳定的、专业的、具有丰富行业经验的核心技术人才团队，来提高公司的持续创新能力。在研发投入方面，在2020内，芯源微研发投入达到了4541.47万元，占到营业收入的13.81%。

现阶段，芯源微在光刻涂胶显影设备方面掌握了光刻工艺胶膜均匀涂敷技术、不规则晶圆表面喷涂技术、精细化显影技术、高产能设备架构及机械手优化调度技术、内部微环境精确控制技术等多项核心技术。凭借核心技术的优势，芯源微在市场中处于领先地位，并拥有较强的市场竞争力。

芯源微一直不断的自主研发核心技术也使得公司获得众多知识产权专利。截至2020年 年底，芯源微共获得专利授权195项，其中中国大陆地区包括台湾地区发明专利149项，美国专利2项，实用新型专利23项，外观设计专利21项；拥有软件著作权47项。核心人才团队和核心技术的掌握奠定了芯源微在细分行业内的突出地位，占据了更多的市场份额。

优质的客户资源

芯源微生产的涂胶显影设备分为前道涂胶显影设备和后道涂胶显影设备。公司的前道涂胶显影设备陆续获得了上海华力、中芯绍兴、厦门士兰集科、上海积塔、株洲中车、青岛芯恩、中芯宁波、昆明京东方等多个前道大客户订单及应用。

芯源微产品不仅涉及光刻涂胶显影设备还有包括清洗机、去胶机、湿法刻蚀机在内的单片式湿法设备。公司生产的后道涂胶显影设备与单片式湿法设备的下游市场客户涵盖国际知名Fab厂台积电，国内一线大厂如长电科技、华天科技、通富微电、晶方科技、华灿光电、乾照光电、澳洋顺昌、中芯宁波等，以及国内特种工艺代表企业，包括厦门士兰集科、中芯绍兴、上海积塔等。

芯源微的销售总部是在沈阳，但为了实现公司三“靠近”的初衷即“靠近客户”、“靠近人才”、“靠近供应链”，芯源微在苏州、昆山、台湾、武汉、上海等地都设有办事处，销售网络覆盖长三角、珠三角及台湾地区等产业重点区域，能够及时响应客户需求，为客户提供有效的解决方案，从而能够维护与客户之间的紧密联系。

目前，上海已成为全球集成电路产业投资最具吸引力的地区之一，也是国内外半导体企业沟通交流最为紧密的的地区之一。在2021年2月31日，芯源微在上海自由贸易试验区临港新片区注册成立了公司的控股子公司“上海芯源微企业发展有限公司”，有助于芯源微拓宽公司客户群，提升公司的市场竞争力，推进国际化发展道路。