香港最新开奖结果2022
来源：金融界 2022-10-01 00:50
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尽管电子束光刻被寄予厚望，但短期内仍难以实现规模量产。事实上早在2000年，美国应用材料公司收购了一家专门做电子束的公司ETECSystem，专攻电子束光刻技术，但时至今日，仍旧未能实现采用电子束技术大规模生产先进制程芯片。莫大康介绍，目前电子束光刻最大的卡点在于电子束的曝光速度太慢，曝光一个硅片需要10分钟，而EUV曝光速度可达到每分钟超过2片硅片。因此采用电子束光刻的技术目前仅限于实验室研究，或者制造矿机芯片等出小规模出货量的芯片。但这并不意味着电子束技术短期内无法在先进制程领域得到大规模运用，由于波长短，电子束在线宽测量方面具有天然优势，因此采用电子束技术进行线宽测量可减少误差。酷v管家96
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